洁净烘箱耐高温过滤器又称无尘烘箱系列。用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的上胶前、上胶后、硬膜烘烤后及显影后的预处理和烘烤;高温烘烤;也适用于电子液晶显示器、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产科研部门;也可用于不挥发、不易燃易爆材料的干燥、热处理、老化等高温试验。
烤箱专用高温高效过滤器具有以下特点:
A、有隔板和耐高温高效过滤器。外框可选:250℃以下可选择铝框、铝折叠框、镀锌框、不锈钢框; 250℃以上,必须使用镀锌框架或不锈钢框架。不同框架材料的高效过滤器的价格和成本也不同。
B、铝型材可选厚度:120mm、150mm、220mm。
C、隔板高温高效过滤器的滤材为H13-H14玻璃纤维滤纸。
D、密封胶:红色硅胶(250-280℃)和陶瓷胶(350-400℃)。
E、隔板为0.03mm厚铝箔。
洁净烘箱耐高温过滤网的特点:
1、可在正常环境下使用,保证烤箱内部等级达到100级。
2、quan方位氩气焊接,耐高温硅胶开裂,SUS304#不锈钢电加热器,防机器本身产生的粉尘;
3、飞机水平从后向前抽,通过美国HEPA过滤器20"×20"装置送风至前门(特殊风道设计),过滤效率99.99% ,Class 100,排气口:3"φ(带自动启闭风门)。
4、强制空气循环方式。双倍的。风道循环结构,温度场分布均匀,智能PID控温系统,获得良好的控温精度
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021-63510720
上海市临洮路
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