1. 分辨率
分辨能力是电子显微镜的一个重要指标。电子显微镜的分辨能力用它所能分辨的相邻两点间的小距离来表示,称为仪器的高点分辨力:d=δ。显然,分辨率越高,即d值(长度单位)越小,仪器能分辨的细节越多,被观察物体的细节越丰富,即分辨力越强本仪器的功率或分辨力。
分辨率与穿过样品的电子束的入射锥角和波长有关。可见光的波长约为300~700纳米,电子束的波长与加速电压有关。根据波粒二象性原理,高速电子的波长比可见光的波长短,显微镜的分辨率受所用波长的限制,所以电子显微镜的分辨率(0.2nm)远高于光学显微镜(200 nm)。
当加速电压为50~100kV时,电子束的波长约为0.0053~0.0037纳米。由于电子束的波长远小于可见光的波长,即使电子束的锥角只有光学显微镜的1%,但电子显微镜的分辨能力仍远优于光学显微镜。光学显微镜。
光学显微镜的大放大倍数约为2000倍,而现代电子显微镜的大放大倍数超过300万倍,因此可以直接观察到一些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子晶格。电子显微镜。
2. 放大倍数
单就放大倍数而言,就是指图像在电子显微镜下放大后,同一方向的图像长度与物体实际长度的比值。这是两条直线的比率。有些人将放大率理解为图像与物体的面积比。这是一种误解,必然会造成概念的混淆和计算方法和结果的混淆。
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